CA88

数字化光刻

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FlexAligner-P500

面板级纳米压印光刻系统

技术特点

  • 职能:大面积方形玻璃衬底的高保真复造
  • 用处:新型显示、衍射光学元件(光波导/光栅/微透镜阵列),其他微纳结构

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