CA88

晶圆级纳米压印光刻系统

技术特点

• 职能：晶圆级衬底，高保真复造、高精度套准、低残留压印
• 用处：半导体晶圆、微透镜阵劣注光子芯片、微流控芯片、光波导

*CA88保留对信息的诠释权势